結晶・表面・形態 SEMとSEM-EDSの違いは?形状観察と元素分析で分かること・分からないこと
SEMとSEM-EDSの違いを、二次電子像・反射電子像・EDSスペクトル・元素マップから解説。異物調査に適した使い分け、帯電・コーティング・定量の限界を紹介。
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分離・成分分析
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元素・無機分析
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